激光光热控制触点开关式微驱动机构及实验研究

作     者：王乐妍 刘超 章海军 张冬仙 WANG Li-yan;LIU Chao;ZHANG Hai-jun;ZHANG Dong-xian

作者机构：浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027 

出 版 物：《光电子．激光》 (Journal of Optoelectronics·Laser)

年 卷 期：2008年第19卷第11期

页      面：1450-1453页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程] 

基　　金：国家"863"计划资助项目(2006AA04Z237) 国家自然科学基金资助项目(50775205) 

主　　题：触点开关 微驱动机构 激光光热控制 准分子激光 

摘      要：提出了一种新型的激光光热控制触点开关式微驱动机构;对于驱动性能受到形状参数的影响进行了理论分析;采用KrF准分子激光器制备了两种不同长度的微驱动机构;自行搭建的激光光热控制实验系统,采用655nm红色激光作为驱动源,利用该实验系统进行了比较驱动实验,实验结果表明:触点偏转量随着驱动器臂长的增大而增大,同时对于相同长度的微驱动机构,触点偏转量随着驱动激光功率的增大而增大。该新型微驱动机构结构简单,制备快捷,可以采用激光对其实现远距离、非接触控制,集成度高。