固支梁微传感器等效电路宏模型及IP库的建立
Creation of the Macromodel of Equivalent Circuit and IP Library for Clamped-Clamped Beam Microsensor作者机构：东南大学微电子中心
出 版 物：《固体电子学研究与进展》 (Research & Progress of SSE)
年 卷 期：2004年第24卷第1期
页 面：68-72,122页
核心收录：
学科分类：080805[工学-电工理论与新技术] 0808[工学-电气工程] 080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程] 0811[工学-控制科学与工程]
基 金：国家(8 63计划)资助项目(课题编号 :2 0 0 2 AA40 40 10) 教育部重大项目(重大 0 2 16)
主 题：MEMS 固支梁 受控源 微传感器 等效电路 宏模型 IP库
摘 要：针对 MEMS器件中的固支梁结构 ,采用了 SPICE中标准多项式受控源的形式和模态分析的方法 ,运用 F-I类比的电路形式建立了固支梁微传感器的多模态小信号等效电路宏模型 ,并建立了相应的 IP模型库单元。在外加力作用下 ,用 SPICE软件调用固支梁的 IP库并结合外加电路进行了系统级的模拟 ,得到微传感器分布参数的电学参量输出特性曲线 ;最后采用
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