压电移相器的空间旋转误差建模与实验分析

作     者：王道档 杨甬英 刘东 田超 骆永洁 卓永模 

作者机构：浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027 

出 版 物：《光电子．激光》 (Journal of Optoelectronics·Laser)

年 卷 期：2009年第20卷第5期

页      面：571-575页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(10476026) 

主　　题：移相器 误差分析 数学建模 泰曼-格林干涉系统 测量精度 

摘      要：通过对压电移相器在微位移过程中端面旋转的数学建模,对其空间旋转误差进行了理论分析;基于该数学模型,利用泰曼-格林干涉系统对两种不同工艺制作的移相器进行了在线检测,根据干涉条纹的旋转及间距变化,可以定量分析高精度移相器在微位移移相过程中其端面的旋转角度以及空间任意点的位移误差,并给出了相关实验结果。表明:用该方法在线检测各种不同工艺制作的移相器,对其端面上任意点由于端面旋转引起的空间位移误差检测灵敏度达到pm量级,在0～100V驱动电压范围内进行在线移相检测,实验测量移相器的位移精度优于λ/200,对应相移精度高于0.06rad。