高频声表面波滤波器用单指换能器
Single-electrode IDT for high Frequency SAW Filter作者机构:四川压电与声光技术研究所
出 版 物:《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)
年 卷 期:1996年第18卷第1期
页 面:15-18页
核心收录:
学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学]
摘 要:报道两种带宽极窄的采用单指换能器制作的声表面波滤波器。一种是利用单指换能器声同步频率与反射频率之间的相位叠加与相消来制作的体积极小(芯片面积只有采用双指换能器的三分之一不到)的高频极窄带声表面波滤波器,其3dB带宽的相位变化只120°;另一种是采用合理布局的单指无内反射换能器制作的高频极布带声表面波滤波器,其幅频特性同采用双指换能器制作的同类型的声表面波滤波器一样。最后给出了这两种声表面波滤波器的较详细的理论分析和实验结果。