“纳米制造的基础研究”重大研究计划结题综述

作     者：王国彪 赖一楠 卢秉恒 雒建斌 黎明 刘红忠 刘磊 叶鑫 Wang Guobiao;Lai Yinan;Lu Bingheng;Luo Jianbin;Li Ming;Liu Lei;Ye Xin

作者机构：国家自然科学基金委员会工程与材料科学部北京100085 西安交通大学机械工程学院西安710049 清华大学精密仪器与机械学系北京100084 东南大学机械工程学院南京211189 北京理工大学机械与车辆学院北京100081 

出 版 物：《中国科学基金》 (Bulletin of National Natural Science Foundation of China)

年 卷 期：2019年第33卷第3期

页      面：261-274页

学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 0702[理学-物理学] 

主　　题：纳米制造 纳米精度 纳米尺度 跨尺度 纳米制造装备 基金委重大研究计划 

摘      要：国家自然科学基金委员会重大研究计划纳米制造的基础研究历时8年于2018年完成结束评估。重大研究计划实施过程中,在基础理论方法、关键技术、核心仪器装备、典型工程示范应用等几个层面取得了系列集成成果。本文概述了该计划在亚纳米材料去除机理、纳米尺度结构成形、跨尺度批量化制造的原理与方法、系列纳米制造装备国产化等关键技术上所取得的一系列具有重大国际影响的突破性进展。文中展望了纳米制造研究的发展态势,提出了未来关注的重点学术方向。