非晶金刚石薄膜的X射线反射研究
Properties of Tetrahedral Amorphous Carbon Films Characterized By X-Ray Reflectivity Technique作者机构:哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所哈尔滨150001
出 版 物:《光学学报》 (Acta Optica Sinica)
年 卷 期:2005年第25卷第4期
页 面:572-576页
核心收录:
学科分类:0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0702[理学-物理学]
基 金:"十五"科技预研项目(41312040401)资助课题
主 题:薄膜光学 非晶金刚石薄膜 密度 衬底偏压 X射线反射
摘 要:利用过滤阴极真空电弧系统制备了不同衬底偏压下非晶金刚石薄膜,分别采用X射线反射法测定了相应的非晶金刚石膜密度,分析了薄膜密度与沉积能量之间的变化规律,建立了薄膜密度随衬底偏压的变化曲线。研究发现在-80 V时非晶金刚石膜密度存在最大值3.26 g/cm3,随着偏压的增大和减小,薄膜的密度都相应的下降;当衬底偏压加到-2000 V时,密度减小到2.63 g/cm3,相对于密度的最大值变化较小。通过薄膜sp3 能态杂化含量与密度的简单比例关系,近似推算出非晶金刚石膜中sp3 能态的含量最高可达80%以上。