非晶金刚石薄膜的X射线反射研究

作     者：韩杰才 檀满林 朱嘉琦 程坤 孟松鹤 Han Jiecai;Tan Manlin;Zhu Jiaqi;Cheng Kun;Meng Songhe

作者机构：哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所哈尔滨150001 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2005年第25卷第4期

页      面：572-576页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 

基　　金："十五"科技预研项目(41312040401)资助课题 

主　　题：薄膜光学 非晶金刚石薄膜 密度 衬底偏压 X射线反射 

摘      要：利用过滤阴极真空电弧系统制备了不同衬底偏压下非晶金刚石薄膜,分别采用X射线反射法测定了相应的非晶金刚石膜密度,分析了薄膜密度与沉积能量之间的变化规律,建立了薄膜密度随衬底偏压的变化曲线。研究发现在-80 V时非晶金刚石膜密度存在最大值3.26 g/cm3,随着偏压的增大和减小,薄膜的密度都相应的下降;当衬底偏压加到-2000 V时,密度减小到2.63 g/cm3,相对于密度的最大值变化较小。通过薄膜sp3 能态杂化含量与密度的简单比例关系,近似推算出非晶金刚石膜中sp3 能态的含量最高可达80%以上。