Simulation and Design Optimization of Novel Microelectromechanical Digital-to-Analog Converter

作     者：刘清惓 黄庆安 LIU Qing-quan;HUANG Qing-an

作者机构：东南大学微电子中心南京210096 

出 版 物：《Journal of Semiconductors》 (半导体学报（英文版）)

年 卷 期：2001年第22卷第12期

页      面：1543-1545页

核心收录：

学科分类：080902[工学-电路与系统] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 081201[工学-计算机系统结构] 0812[工学-计算机科学与技术（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然科学基金 (No.60 0 760 2 8) 高等学校博士点专项基金 (No.2 0 0 0 0 2 862 0 )资助项目~~ 

主　　题：digital to analog converter MEMS microactuators precise positioning FEA 

摘      要：A microelectromechanical Digital to Analog Converter (DAC) based on Weighted Gap (WG) principle is described,which is analogous to the weighed resistor DAC in electronic *** convert the input of binary voltage to the output of analog displacement,the gaps are proposed to be employed as a scale factor.A finite element method is used to simulate the performance of the *** reduce the error,the structure design is optimized and the maximum error of 0 002μm is obtained.