强耦合串联石墨烯纳米机械振子

作     者：汪开龙 WANG Kailong

作者机构：中国科学技术大学中国科学院量子信息重点实验室 

出 版 物：《低温物理学报》 (Low Temperature Physical Letters)

年 卷 期：2019年第41卷第2期

页      面：97-102页

学科分类：081702[工学-化学工艺] 07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 

主　　题：石墨烯纳米机械振子 微纳加工工艺 耦合强度 协同系数 强耦合 

摘      要：与微米机械振子相比,纳米机械振子使用纳米级材料制备,尺寸更小,质量更轻,它作为探测器,在探测力、质量等物理量时拥有更高的灵敏度.石墨烯有高强度、低密度等优良的机械特性,被认为是制备纳米机械振子的理想材料.基于其制备的石墨烯纳米机械振子有着高谐振频率、高品质因子和谐振频率可调性高等优势,对于纳米力学的基础研究和应用都具有重要的意义.本文利用微纳加工工艺(包括电子束曝光、电子束蒸发镀膜、反应离子刻蚀和微米级定点干法转移技术)制备了串联石墨烯纳米机械振子样品,并在极低温下(10mK)测量了石墨烯机械振子的机械性质,实现两个串联石墨烯纳米机械振子的强耦合,耦合强度为1.34MHz,协同系数C=399.