沉积温度对ZnS材料结构和红外光学性能的影响

作     者：缪彦美 子光平 应飞飞 王侃 吴绍华 MIAO Yanmei;ZI Guangping;YING Feifei;WANG Kan;WU Shaohua

作者机构：云南驰宏国际锗业有限公司云南曲靖655011 云南北方驰宏光电有限公司云南昆明650223 

出 版 物：《陶瓷学报》 (Journal of Ceramics)

年 卷 期：2019年第40卷第3期

页      面：330-333页

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

主　　题：化学气相沉积法 硫化锌 沉积温度 

摘      要：采用化学气相沉积(CVD)法成功制备了红外材料硫化锌(ZnS),利用X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和傅里叶红外光谱仪(FTIR)对ZnS样品的组分、相结构、表面形貌和光学性能进行表征分析。研究结果表明:沉积温度较低时,ZnS为立方结构,随着沉积温度升高,有少量六方结构ZnS生成;ZnS中原子比Zn/S大于1,Zn原子含量随沉积温度的升高逐渐减少,提高沉积温度可抑制ZnH2的生成,过高的沉积温度则降低了ZnS的光学性能;沉积温度为620 ℃时,ZnS表面微孔少,光学性能良好。