计算全息图补偿检测离轴非球面中的投影畸变校正技术

作     者：曾雪锋 闫锋 薛栋林 邓伟杰 李锐钢 郑立功 张学军 

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室吉林长春130033 中国科学院大学北京100049 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2013年第40卷第11期

页      面：229-233页

核心收录：

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家973计划(2011CB013205) 国家自然科学基金重点项目(61036015) 

主　　题：全息 非球面检测 投影畸变校正 仿射变换 离轴非球面 计算全息图 

摘      要：为了校正利用计算全息图(CGH)补偿检测离轴非球面引入的二维投影畸变,提出了基于检测光路仿射变换的投影畸变校正方法。通过追迹检测光路求解畸变映射函数,借助镜面特征点实现畸变校正结果与镜面的高精度对准,利用校验特征点实现校正误差检验。将该技术实际应用于某项目800mm×600mm离轴非球面主镜检测和加工,检测结果与工件面形位置误差由校正前80mm降低至1mm以下。根据畸变校正后的数据,对该镜采用离子束抛光,最终面形精度[用均方根(RMS)误差表示]达到0.0162λ(λ=0.6328μm)。