溶胶-凝胶法制备SiO_2-TiO_2纳米复合薄膜的结构及光学性能研究

作     者：翟继卫 张良莹 姚熹 Zhai Jiwei;Zhang Liangying;Yao Xi

作者机构：西安交通大学电子材料与器件研究所 

出 版 物：《硅酸盐学报》 (Journal of The Chinese Ceramic Society)

年 卷 期：1998年第26卷第4期

页      面：465-470页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：西安交通大学精细功能电子功能材料与器件开放实验室基金 

主　　题：溶胶凝胶法 薄膜 结构 光学性 氧化硅 氧化钛 

摘      要：采用ｓｏｌ－ｇｅｌ工艺制备了（１－ｘ）ＳｉＯ２－ｘＴｉＯ２（ｘ＝５％，８％，２０％，３０％，４０％，５０％，摩尔分数）纳米复合薄膜．Ｘ射线衍射及折射率测量表明，随着ＴｉＯ２摩尔分数的增加，薄膜的折射率呈线性增加，而ＴｉＯ２的析晶温度则降低．随着薄膜热处理温度的提高，其折射率亦增加，主要来自于薄膜结构转变的贡献，即由非晶态转变为锐钛矿相，由锐钛矿转变为金红石与锐钛矿两相共存，再转变为完全的金红石相结构，并诱导了ＳｉＯ２的晶化．掠入射Ｘ射线分析则示出，薄膜中晶粒大小分布沿薄膜厚度逐渐减小（由衬底向膜面方向），且随循环热处理温度的提高，晶粒大小分布的差异增大．ＡＦＭ分析表明，随热处理温度的提高，薄膜表面的粗糙度增大，与掠入射Ｘ射线的分析结果相一致．