厚膜混合集成MEMS电容式加速度计
作者机构：中北大学机械工程与自动化学院
出 版 物：《应用科技》 (Applied Science and Technology)
年 卷 期：2009年第36卷第3期
页 面：72-72页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0826[工学-兵器科学与技术]
主 题：电容式加速度计 厚膜混合集成 MEMS 信号检测电路 混合集成技术 性能测试 检测精度 电路测试
摘 要：设计了电容式加速度计的信号检测电路。与电容式加速度计表头进行了联调和测试。并进行了标定。为减小体积。提高电容式加速度计的检测精度，采用了厚膜混合集成技术．将检测电路和电容式加速度计集成于一体。最后进行了电路测试和性能测试。
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