微位移器的在线测试

作     者：武旭华 陈磊 仇智 WU Xu-hua;CHEN Lei;QIU Zhi

作者机构：南京信息工程大学电子与信息工程学院江苏南京210044 南京理工大学电光学院江苏南京210094 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2007年第29卷第6期

页      面：666-668,672页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国防军工计量"十五"重点资助项目(J60803134) 

主　　题：移相干涉术 微位移器 阻尼最小二乘法 在线测试 

摘      要：提出一种微位移器的在线测试方法,记录一组与微位移器位移特性相关的干涉图,截取每幅图中位置相同的一条线,建立干涉图截线法光强数学模型,然后在最小二乘法的基础上引入阻尼因子,通过几步快速迭代就可求出这组干涉图的相位主值,再通过相位解包就可得到微位移器的电压-相位曲线。并在本教研室研制的一台斐索干涉仪上进行了实验,实验结果表明:该方法克服了传统方法速度慢,精度低,标定和在线测试条纹疏密状态不一致的不足,简单易实现,运算量小,迭代次数适中,实时性强,可作为干涉测试中微位移器的在线测试方法。