估计系统点扩展函数以降低相位测量轮廓术误差
Estimation of System Point Spread Function to Reduce Errors in Phase Measuring Profilometry作者机构：四川大学电气信息学院四川成都610065 广东省公安厅广东广州510050
出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)
年 卷 期：2019年第46卷第5期
页 面：365-371页
核心收录：
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
基 金：国家自然科学基金(NSFC61473198) 四川省科技厅重点研发项目(2018GZ0198) 成都市科技局重点研发支撑计划(2018-YFYF-00029-GX) 四川大学自贡市校地科技合作重点研发项目(2018CDZG-12)
主 题：测量 相位测量轮廓术 点扩展函数 卷积效应 相位误差 相位校正
摘 要：针对相位测量轮廓术中由光学成像设备的点扩展函数引起的卷积效应,提出了一种估计点扩展函数卷积模型参数的方法。该方法利用卷积效应对相位测量轮廓术中光强调制度参数的影响,通过计算基频与更高空间频率之间的光强调制比率,实现了对点扩展函数参数的估计,利用估计的参数建立卷积模型对误差区域进行相位校正,从而提高三维重建精度。仿真及实验结果均验证了所提方法的有效性,与校正前相比,相位的均方根误差减小了30.55%。
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