瞄准误差对多通道X射线KB显微镜一致性的影响

作     者：陈志强 李亚冉 忻秋琪 穆宝忠 CHEN Zhiqiang;LI Yaran;XIN Qiuqi;MU Baozhong

作者机构：同济大学物理科学与工程学院上海200092 同济大学教育部先进微结构材料重点实验室上海200092 

出 版 物：《光学仪器》 (Optical Instruments)

年 卷 期：2019年第41卷第2期

页      面：66-71页

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家重点研发计划项目(2017YFA0403300) 

主　　题：KB显微镜 空间分辨率 像间隔 系统效率 

摘      要：围绕着八通道Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜在神光.Ⅲ主机上的应用,分析了瞄准误差对该显微镜成像性能和通道间一致性的影响。通过光线追迹,模拟了X射线显微镜的空间分辨率、像点间隔和系统效率随视场和物像距的变化。从中心视场到±200μm视场,空间分辨率下降约2.9μm;从中心视场到±150μm视场,系统效率降低了约60%;物距变化量在±200μm范围时,像点间隔变化值约为0.67mm,显微镜系统效率变化约为7%;像距变化量在±20mm范围时,像点间隔变化值约为0.70mm。结果表明,视场中心瞄准误差严重影响空间分辨率和效率,但对各通道间的像间隔影响较小。物距和像距误差对像间隔影响较大,但对空间分辨率和系统效率影响较小。