Nb5 N6 microbolometer太赫兹检测器

作     者：涂学凑 毛庆凯 徐磊 孙振龙 康琳 金飚兵 陈健 吴培亨 Tu Xuecou;Mao Qingkai;Xu Lei;Sun Zhenlong;Kang Lin;Jin Biaobing;Chen Jian;Wu Peiheng

作者机构：南京大学超导电子学研究所南京大学南京210093 

出 版 物：《南京大学学报（自然科学版）》 (Journal of Nanjing University（Natural Science）)

年 卷 期：2014年第50卷第3期

页      面：269-272页

核心收录：

学科分类：0810[工学-信息与通信工程] 08[工学] 081002[工学-信号与信息处理] 

基　　金：国家973项目(2014CB339800,2011CBA00100) 国家863项目(20l1AA010204) 江苏省电磁波先进调控技术重点实验室支助项目 

主　　题：Nb5N6薄膜 太赫兹检测器 太赫兹成像 

摘      要：随着太赫兹科学技术的快速发展,太赫兹检测器件的性能也在不断提高,为微弱信号的检测和太赫兹成像奠定了坚实的基础.本文针对Nb5N6薄膜材料,研制了Nb5N6microbolometer阵列芯片及其基于这种芯片的太赫兹准光型接收机.单个Nb5N6 microbolometer的直流电压响应最高达760V/W,对应的直流噪声等效功率(NEP)为1.3×10-11 W/√Hz.在实际系统中,由串联结构的Nb5N6 microbolometer构成的准光接收机,光学电压响应率高达428V/W,对应的光学噪声等效功率(NEP)为2.3×10-11 W/√***5N6 microbolometer太赫兹检测器室温工作、工艺简单、检测灵敏度高,响应时间快,便于集成超大规模阵列,为太赫兹信号检测提供了一种有效的途径.