大面积单层二硫化钼薄膜的光探测性能研究

作     者：肖旭凌 吴杰 李俊 罗斯玮 唐超 钟建新 XIAO Xu-ling;WU Jie;LI Jun;LUO Si-wei;TANG Chao;ZHONG Jian-xin

作者机构：湘潭大学物理与光电工程学院微纳能源材料与器件湖南省重点实验室 

出 版 物：《湘潭大学学报（自然科学版）》 (Journal of Xiangtan University(Natural Science Edition))

年 卷 期：2019年第41卷第2期

页      面：6-11页

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金青年基金项目(11204260) 湖南省自然科学基金项目(14JJ7037) 湖南省重点实验室创新平台开放基金项目(17K086) 

主　　题：二硫化钼 光探测性能 负光电导 

摘      要：通过化学气相沉积方法成功制备出大面积(厘米级)单层硫化钼(MoS 2 )薄膜,并利用光学显微镜、拉曼显微镜、原子力显微镜等技术手段进行了有效的表征.将所制备的薄膜样品通过磁控溅射的方法镀上电极,并对其光探测性能进行了研究.研究结果表明:薄膜的结晶程度(晶粒尺寸)对薄膜光响应速率和光电导具有极大影响;薄膜的光电导对光源的波长具有一定的依赖性;在一些特定的波段,薄膜会呈现负光电导性(NPC).