大尺寸单晶金刚石同质连接技术

作     者：舒国阳 Ralchenko V. Bolshakov A. 刘康 孙明琪 姚凯丽 赵继文 高鸽 刘本建 王伟华 李一村 刘雪冬 代兵 朱嘉琦 SHU Guoyang;RALCHENKO V.;BOLSHAKOV A.;LIU Kang;SUN Mingqi;YAO Kaili;ZHAO Jiwen;GAO Ge;LIU Benjian;WANG Weihua;LI Yicun;LIU Xuedong;DAI Bing;ZHU Jiaqi

作者机构：哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室 俄罗斯科学院普通物理研究所 

出 版 物：《自然杂志》 (Chinese Journal of Nature)

年 卷 期：2019年第41卷第2期

页      面：100-110页

学科分类：081702[工学-化学工艺] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 

主　　题：人造金刚石 单晶 微波等离子体化学气相沉积 同质连接 

摘      要：介绍了制备人造单晶金刚石的技术途径及发展现状,重点讨论并对比了几种化学气相沉积法(CVD)金刚石制备技术的优缺点,详细阐述了基于微波等离子体CVD (MPCVD)法的同质连接技术——一种突破晶体尺寸限制,实现大尺寸单晶金刚石的有效途径。通过该技术实现了英寸级单晶金刚石晶片的制备,并针对横向生长、界面质量及演化、三维结构连接控制等核心科学技术问题进行了分析和讨论,展望了其在尖端应用领域的发展前景。