基于模糊预测的MOCVD温度控制方法

作     者：过润秋 赵恒 杜凯 GUO Run-qiu;ZHAO Heng;DU Kai

作者机构：西安电子科技大学机电工程学院陕西西安710071 

出 版 物：《西安电子科技大学学报》 (Journal of Xidian University)

年 卷 期：2006年第33卷第2期

页      面：268-272页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0835[工学-软件工程] 0802[工学-机械工程] 080201[工学-机械制造及其自动化] 

基　　金：陕西省自然科学基金资助项目(2004F29) 陕西省科学技术研究发展计划项目(2004k05-G1) 

主　　题：金属有机化合物化学气相淀积 模糊预测控制 温度控制 控制算法 

摘      要：为解决金属有机化合物化学气相淀积(MOCVD)设备温度控制的非线性、时变性以及大滞后等问题,给出了一种用模糊控制和预测控制相结合的复合控制方法.该模糊预测控制在模糊控制的基础上加入预测环节,通过增加相位超前减少时间滞后所带来的影响,准确预测温度变化趋势.与传统的控制方法相比较,具有算法简单,鲁棒性好的特点.仿真和试验表明,该方法有着较高的稳态精度和动态特性,在整个温度控制范围基本误差可达到1℃‰,有效改善了MOCVD系统温度的控制性能,对实际温度控制具有较好的指导意义.