含氮磷酸锂薄膜在空气中的稳定性

作     者：刘文元 李驰麟 傅正文 LIU Wen-Yuan;LI Chi-Lin;FU Zheng-Wen

作者机构：复旦大学化学系激光化学研究所 

出 版 物：《物理化学学报》 (Acta Physico-Chimica Sinica)

年 卷 期：2006年第22卷第11期

页      面：1413-1418页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然科学基金(20203006)资助项目 

主　　题：LiPON薄膜 薄膜电解质 磁控溅射 全同态薄膜锂电池 

摘      要：利用射频(RF)磁控溅射方法制备了含氮磷酸锂(LiPON)薄膜．采用SEM、XRD、XPS等技术以及交流阻抗法和电位线性扫描法,研究了空气湿度对LiPON薄膜形貌、组成和性能的影响．结果表明,LiPON薄膜在湿度为40％的空气环境中放置24 h后,将发生明显的水解反应,使LiPON薄膜表面形貌变得疏松、局部突起;PH3和NH3的产生,使薄膜中磷元素和氮元素含量减少,而Li2CO3的生成,则使薄膜中碳元素和氧元素含量有明显的增加．LiPON电解质薄膜形貌和组成的变化,造成了薄膜电化学性能的严重恶化．