硼浓度对沉积在刀具上的金刚石膜表面的影响

作     者：王传新 汪建华 满卫东 马志斌 王升高 伍新明 屈青 WANG Chuanxin~(1,2),WANG Jianhua~1,MAN Weidong~(1,2),MA Zhibin~1,WANG Shenggao~1,Wu Xinming~1,QU Qing~1 (1.Province Key Laboratory of Plasma Chemical & Advanced Materials, Wuhan Institute of Chemical Technology, Wuhan 430073,China;2. Institute of Plasma Physics the Chinese Academy of Sciences, Hefei 230031,China)

作者机构：武汉化工学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 

出 版 物：《武汉化工学院学报》 (Journal of Wuhan Institute of Chemical Technology)

年 卷 期：2004年第26卷第3期

页      面：51-53页

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：湖北省科技攻关计划 ( 2 0 0 2 AA1 0 5 A0 2) 

主　　题：热丝CVD YG6刀具 金刚石薄膜 渗硼 

摘      要：在热丝 CVD装置中 ,以氢气、丙酮、硼酸三甲脂为原料 ,在 YG6上制备了含硼金刚石薄膜 .研究丙酮中硼含量对薄膜表面晶形及晶粒度的影响 .结果表明 ,薄膜中渗入适量的硼不改变薄膜表面晶形 ,细化晶粒 .有利于薄膜附着力的提高 ;而过高的硼含量恶化金刚石薄膜质量 。