微悬臂梁探测器的理论模型及优化设计
Model and Optimization of a Novel Detector for Light Radiation作者机构：西安交通大学电气工程学院西安710049 西安理工大学理学院西安710048
出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)
年 卷 期：2001年第21卷第6期
页 面：744-748页
核心收录：
学科分类：0808[工学-电气工程] 080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学]
基 金：国家自然科学基金! (6 9776 0 37) 陕西省教委专项科研计划项目! (0 0JK2 6 3)
摘 要：对基于微悬臂梁的光学和红外探测技术进行了理论分析 ,并建立了相应的理论模型 ,在此基础上对该类探测器进行了优化设计 ,包括 :微悬臂梁材料的优化选择、金属镀膜材料及厚度的优化选择以及光辐射吸收层材料的选择。最终给出了一种新型的三层结构微悬臂梁探测器 ,理论上这种新型结构的探测器比现报道的同类探测器灵敏度高出 2 0多倍 ,噪声等效功率降低了 85 %～ 70 %。
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