基于自感知压电换能器的键合质量检测方法研究
Monitoring Wire Bonding Quality Based on Self-sensing Transducer of Bonding System作者机构：浙江海洋学院舟山316000 西安交通大学西安710049
出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)
年 卷 期：2012年第23卷第14期
页 面：1645-1650页
核心收录：
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
基 金：国家自然科学基金资助项目(50475087 50875196) 浙江海洋学院科研启动经费资助项目(21185011311)
摘 要：将换能器耦合电信号作为识别键合质量的信息载体,研究了耦合信号的特征提取、模式识别方法及实际应用。提出了一种换能器耦合信号细化特征提取方法,该方法以三个关键键合过程即去除氧化膜、键合点塑性变形、应力扩散为依据,将瞬态耦合信号分段进行特征提取。采用主分量分析技术对提取的特征进行选择,通过BP神经网络对键合缺陷特征进行分析,有效地识别了无引线键合缺陷,预测了键合点剪切力。
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