基于MEMS的固态风速风向传感器及其最优结构参数
MEMS-Based Solid State Wind Velocity-Direction Sensor and Its Best Structural Parameter作者机构：中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京100190 中国科学院研究生院北京100190
出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)
年 卷 期：2011年第24卷第3期
页 面：342-345页
核心收录：
学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080202[工学-机械电子工程] 0802[工学-机械工程] 0811[工学-控制科学与工程]
主 题：物理量传感器 结构参数 圆柱绕流 风速风向传感器 MEMS
摘 要：基于圆柱绕流的理论分析给出圆柱体周边压强分布方程,并据此提出了一种新型的基于MEMS的固态风速风向传感器结构。建立了其内部流体流动的理论模型,并利用该模型进行数值计算得到了这种传感器的最优结构参数。分析表明,利用相互正交的MEMS风速传感器测量风向是可行的,并且具有多个通风孔结构的传感器可以有更高的精度。
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