基于参比电容和锁定放大的微电容测量仪
Low capacitance measuring instrument based on reference capacitance and lock-in amplifier作者机构：上海海事大学物流工程学院上海200135 上海奥波电子有限公司上海200072
出 版 物：《上海海事大学学报》 (Journal of Shanghai Maritime University)
年 卷 期：2009年第30卷第2期
页 面：25-28,71页
学科分类：080802[工学-电力系统及其自动化] 0808[工学-电气工程] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 080402[工学-测试计量技术及仪器]
摘 要：针对传统微电容测量技术存在的缺点,根据参比电容和锁定放大技术的微电容测量原理,研制出1种微电容测量仪.该微电容测量仪采用参比测量技术,用锁定放大技术对测量系统的噪声进行抑制.试验表明采用参比测量技术使测量结果不受激励电压波形和幅度影响.该微电容测量仪的最小测量量程达到0.1 pF,其微电容测量电路已申请发明专利.
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