RF磁控溅射工艺对TiNi_(1-x)Cu_x合金薄膜组织形貌的影响

作     者：李亚东 崔大奎 骆苏华 

作者机构：苏州大学材料工程学院江苏苏州215006 韩国全北国立大学工学院全北道全州561756 苏州大学物理系江苏苏州215006 

出 版 物：《材料科学与工艺》 (Materials Science and Technology)

年 卷 期：2002年第10卷第3期

页      面：295-298页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

主　　题：RF磁控溅射工艺 TiNi(1-x)Cux合金薄膜 组织形貌 钛镍铜合金 

摘      要：采用RF磁控溅射技术制备了TiNi(1-x)Cux合金薄膜,利用扫描电镜、电子能谱仪和XRD技术分析研究了RF磁控溅射工艺对TiNi(1-x)Cux合金薄膜组织形貌的影响规律.结果表明:在基片不加热的条件下溅射薄膜组织结构为非晶,并呈柱状形貌垂直于基片生长;经650～720℃,3 min退火处理后,薄膜均发生晶化转变;在他它条件相同的情况下,溅射功率和工作气压对薄膜组织形貌有很大影响;薄膜的柱状单胞直径、薄膜厚度和生长速度均随溅射功率的增长而增长,但当溅射功率一定时,工作气压增加使柱状单胞直径、薄膜厚度和薄膜的生长速率显著减小;RF磁控溅射过程中,沉积原子的活性及其沉积速率是影响薄膜组织形貌的主要原因.