射频放电阻抗测量用于等离子体诊断研究

作     者：黄建军 余建华 D.Teuner HUANG JIAN JUN 1) YU JIAN HUA 2) D. TEUNER 3) 1)(Experimental Center of School of Science, Shenzhen University, Shenzhen518060, China) 2)(Department of Optical Electrics of Shenzhen University, Shenzhen518060,China) 3)(Depa

作者机构：深圳大学理学院实验中心深圳518060 深圳大学光电子系深圳518060 德国鲁尔大学电子工程与信息技术系 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2001年第50卷第12期

页      面：2403-2407页

核心收录：

学科分类：07[理学] 08[工学] 070204[理学-等离子体物理] 082701[工学-核能科学与工程] 0827[工学-核科学与技术] 0702[理学-物理学] 

基　　金：广东省自然科学基金 (批准号 :980 92 2 )资助的课题~~ 

主　　题：射频放电 阻抗测量 等离子体诊断 电阻 容抗 电子密度 

摘      要：利用自行研制的传感器和测量装置 ,通过对射频放电电压、电流以及其相位角的精确测定 ,算出放电管的总阻抗 ,结合放电管的等效电路模型与Godyak等建立的射频放电模型 ,对射频激励铜离子激光管在氦气中的放电特性进行了研究 ,得出射频激励铜离子激光器不同气压及电流密度下的等离子体电阻、容抗。