脉冲激光沉积ZrW_2O_8/ZrO_2复合薄膜及其靶材制备

作     者：刘红飞 张志萍 程晓农 Liu Hongfei;Zhang Zhiping;Cheng Xiaonong

作者机构：江苏大学材料科学与工程学院镇江212013 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2009年第29卷第6期

页      面：686-689页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然科学基金项目(No.50372027) 江苏省高校自然科学重大基础研究项目(No.06KJA43010) 江苏大学博士创新基金(CX07B-15x) 

主　　题：ZrW2O8 ZrO2 脉冲激光法 低热膨胀 复合靶 

摘      要：采用化学共沉淀法合成26wt%ZrW2O8/ZrO2近零膨胀复合陶瓷靶材,并以脉冲激光法在石英基片上沉积制备了ZrW2O8/ZrO2复合薄膜。利用X射线衍射仪（XRD）、热膨胀仪、扫描电子显微镜（SEM）研究了复合靶材的晶体结构、热膨胀性能和致密度,同时也探索了热处理温度对复合薄膜的相组成和表面形貌的影响。结果表明：合成的靶材由-αZrW2O8和m-ZrO2组成,26wt%ZrW2O8/ZrO2复合靶材在30℃-600℃的热膨胀系数为-0.5649×10^-6K^-1,近似为零,且靶材致密、均匀;脉冲激光沉积制备的薄膜为非晶态,表面平滑、致密,随着热处理温度的升高,薄膜开始结晶,在1200℃热处理6min后得到纯ZrW2O8/ZrO2复合薄膜,且两相物质在膜层中分散均匀,结晶后的薄膜存在一些孔洞缺陷。