具有宽调谐范围的微纳光机电系统可调谐垂直腔面发射激光器研究

作     者：关宝璐 张敬兰 任秀娟 郭帅 李硕 揣东旭 郭霞 沈光地 Guan Bao-Lu;Zhang Jing-Lan;Ren Xiu-Juan;Guo Shuai;Li Shuo;Chuai Dong-Xu;Guo Xia;Shen Guang-Di

作者机构：北京工业大学光电子技术省部共建教育部重点实验室北京100124 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2011年第60卷第3期

页      面：262-265页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家重点基础研究发展计划(批准号:2006CB604902) 国家自然科学基金(批准号:60908012)资助的课题~~ 

主　　题：垂直腔面发射激光器 微纳光机械 波长可调谐 

摘      要：基于微纳机械技术设计得到了可调谐垂直腔面发射激光器结构,将具有Al0.8Ga0.2As牺牲层结构的DBR反射镜制备成微纳光机电系统,并与多量子阱有源区光纵向耦合结构相结合.其中,微纳光机电DBR结构不再是简单的分布布拉格反射镜,而是对光波具有高调制作用的可动微纳机械反射镜系统,并在静电力作用下可以动态调谐VCSEL谐振腔的激射波长.实验结果显示,当激光器调谐电压从0V增加到7V时,对应激射波长将从968.8nm蓝移到950nm,整个调谐范围达到了18.8nm,可调谐VCSEL器件表现出了优异的激光特性,并实现了波长连续可调.