基于MEMS微镜的可调光学衰减器
Variable optical attenuator based on MEMS micromirror作者机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100039
出 版 物：《光电子．激光》 (Journal of Optoelectronics·Laser)
年 卷 期：2012年第23卷第12期
页 面：2287-2291页
核心收录：
学科分类：0808[工学-电气工程] 070207[理学-光学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 0702[理学-物理学]
主 题：可调光衰减器(VOA) 微光机电系统(MEMS) 微镜 垂直梳齿驱动器
摘 要：设计并制作了一种基于微光机电系统(MEMS)微镜的可调光衰减器(VOA)。其中微镜的谐振频率为11.26kHz,采用垂直梳齿驱动器驱动。微镜采用体硅微加工工艺在绝缘体上硅(SOI)片上制作。采用制作的微镜和双光纤准直器装配成VOA,衰减器在扭转角度为0.3°时驱动电压只有4.4V,开启和关断时的响应时间分别为1.67ms和2.74ms,插入损耗为0.6dB,最大衰减值为40dB。
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