重复率激光的单个脉冲能量检测技术

作     者：梁勖 游利兵 余吟山 LIANG Xu;YOU Li-bing;YU Yin-shan

作者机构：中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽合肥230031 

出 版 物：《量子电子学报》 (Chinese Journal of Quantum Electronics)

年 卷 期：2010年第27卷第3期

页      面：281-287页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

主　　题：激光技术 准分子激光 热释电 能量反馈 实时检测 

摘      要：介绍了一种基于热释电探头的准分子激光能量检测系统,实现了对0～200 Hz重复率运行的准分子激光单个脉冲及多脉冲系列的能量实时检测。它由探头、放大、峰值保持、MCU、显示和通讯几部分组成,解决了闸流管放电强电磁干扰等难点,并在193 nmArF和248 nmKrF准分子激光器上进行了测试:响应时间4 ms、分辨率10μl、灵敏度0.5 V/mJ、精度±3%。本系统既可作为能量计使用,也可以作为检测环节用于脉冲能量闭环稳定系统中,如采用响应速度更高的光电管,有望实现高重复率准分子激光光源的实时脉冲能量检测和稳定等技术。