用于二维精密定位工作台的微位移机构设计
Design of a micro-displacement structure for 2-D precision positioning作者机构：清华大学精密仪器及机械学系北京100084
出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)
年 卷 期：2006年第27卷第z2期
页 面：1435-1436页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0703[理学-化学] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
摘 要：微位移技术是精密机械与仪器的关键技术之一。本文介绍精密定位系统中的典型微位移机构,分析常用机构的特点及存在问题,并以平行板柔性铰链为基础,通过对其结构的优化,设计应用于扫描探针系统的二维定位工作台,并利用有限元方法对该工作台静态特性进行了仿真分析。
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