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反应脉冲激光制备的碳—氮化物薄膜的组织与硬度间的关系

作     者：彭补之 

出 版 物：《材料保护》 (Materials Protection)

年 卷 期：2002年第35卷第12期

页      面：67-67页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

主　　题：反应脉冲激光 制备 碳-氮化物薄膜 组织 硬度 石墨靶 

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