MEMS热膜式微型流量传感器的研制
Research on MEMS Hot-Film Micro Flow Sensors作者机构：中国电子科技集团公司第十三研究石家庄050051
出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)
年 卷 期：2010年第47卷第4期
页 面：228-231页
学科分类：08[工学] 080202[工学-机械电子工程] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程]
基 金：国家高技术研究发展(863)计划资助项目(2008AA042205)
摘 要：针对微型流量传感器的应用问题,提出了一种可以准确测量各种气体微型流量、基于MEMS工艺的新型MEMS热膜式传感器。基于热量传递原理的热膜式流量传感器由一个加热器和一对微型温度传感器组成,只要测得两个温度传感器的温度差值,就能得到气体的流量。分析了该器件的原理并进行了ANSYS仿真,设计了器件的结构,进行MEMS工艺开发,制作出可实用化的产品。测试表明,该器件的测量量程达到0.5～200m3/h,精度1.5级,响应时间20ms,量程比1:400,显示该器件测量流量的功能达到了实用化水平。
维普期刊数据库
同方期刊数据库