磁控溅射低温制备高电导高透明氢掺杂薄膜
作者机构：青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司青海西宁810000
出 版 物：《中国新技术新产品》 (New Technology & New Products of China)
年 卷 期：2019年第5期
页 面：12-13页
学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
主 题：直流磁控溅射技术 低温制备 高电导 高透明 氢掺杂AZO薄膜
摘 要：通过分析直流磁控溅射技术低温制备高电导和高透明的氢掺杂AZO薄膜实验,明确了溅射技术对于低温制备AZO薄膜的重要作用。由此可以证明,引入适量氢气,有利于提升AZO薄膜的电阻率。
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