等离子清洗用谐振电源混合调制技术研究
Research on hybrid modulation technology of resonant power supply for plasma cleaning作者机构:华南理工大学机械与汽车工程学院广东广州510640
出 版 物:《中国测试》 (China Measurement & Test)
年 卷 期:2019年第45卷第3期
页 面:121-126页
学科分类:07[理学] 070204[理学-等离子体物理] 0702[理学-物理学]
基 金:福建省自然科学基金项目(2018J01541) 2015东莞市引进第三批创新科研团队项目(2017360004004) 广州市南沙区科技计划项目(2016CX010 2017CX009) 广东省交通厅科技项目(科技-2017-02-041)
摘 要:针对现有等离子体放电电源及其控制系统低效率和高成本的缺点,该文以串联谐振型高频高压电源为研究对象,对不同的控制模式进行研究,提出基于PWM-PFM混合调制的功率跟踪控制策略。同时,对感性和容性两种控制模式进行对比,根据IGBT的关断特点和工作频率,提出高功率欠谐振和低功率过谐振的工作模式,解决等离子清洗用电源在高频率下功率因数低、开关损耗大的问题。实验结果表明:混合调制策略能够有效降低IGBT的损耗,使整机效率提高0.65%~5.51%;在相同工况下,将设备的调功范围从600~950 W提升到550~1 000 W,使得等离子清洗机的清洗对象更为丰富,更容易推广。