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基于双层蚂蚁算法的半导体炉管制程批调度研究

Two-level Ant Algorithm for the Furnace Batch Scheduling in Semiconductor Furnace Operation

作     者:梁静 钱省三 马良 LIANG Jing;QIAN Sheng-san;MA Liang

作者机构:上海理工大学管理学院上海200093 

出 版 物:《系统工程理论与实践》 (Systems Engineering-Theory & Practice)

年 卷 期:2005年第25卷第12期

页      面:96-101页

核心收录:

学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 12[管理学] 0709[理学-地质学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 07[理学] 08[工学] 070105[理学-运筹学与控制论] 1201[管理学-管理科学与工程(可授管理学、工学学位)] 0708[理学-地球物理学] 0802[工学-机械工程] 0811[工学-控制科学与工程] 0701[理学-数学] 0812[工学-计算机科学与技术(可授工学、理学学位)] 

基  金:国家自然科学基金(70471065) 上海市教委第四期重点学科建设资助项目 上海市重点学科建设项目资助(T0502) 

主  题:批调度 炉管 蚂蚁算法 总完工时间 

摘      要:借助蚁群系统较强的路径寻优能力与并行搜索特点,设计了一种双层蚂蚁算法,解决了多品种晶圆批连续到达动态环境下非等效平行多机器的批调度问题.仿真实验表明,算法能得到较好的可行解,并优于其他启发式算法,对高负载的工作环境具有良好的适用性.

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