高次谐波体声波谐振器谐振频率分布研究
Study on distribution of resonance frequency of high-overtone bulk acoustic resonators作者机构：南京大学声学研究所近代声学国家重点实验室南京210093
出 版 物：《声学学报》 (Acta Acustica)
年 卷 期：2006年第31卷第1期
页 面：8-13页
核心收录：
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 1002[医学-临床医学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0702[理学-物理学]
主 题：谐振频率 高次谐波 谐振器 体声波 分布研究 薄膜参数 频率分布 机电耦合系数 模拟计算 模拟结果
摘 要：基于由谐振频率分布提取压电薄膜参数的方法,研究影响高次谐波体声波谐振器(HBAR)谐振频率分布的因素。对多种HBAR进行模拟计算,模拟结果显示,变化基片对薄膜的声阻抗比值会引起并联谐振频率间隔的分布和有效机电耦合系数的分布改变;当薄膜的基模在高频时,改变电极对薄膜的声阻抗比值和电极厚度会引起谐振频率分布改变。这些结果表明,通过调整影响谐振频率分布的因素能使谐振频率变化,进而得到在特定的频率上产生谐振。
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