原位反射率测量在制备金刚石X光窗口上的应用
In-situ reflectivity measurement in the fabrication of diamond X-ray windows作者机构:复旦大学信息学院光科学与工程系先进光子学材料与器件国家重点实验室上海200433
出 版 物:《核技术》 (Nuclear Techniques)
年 卷 期:2004年第27卷第4期
页 面:247-250页
核心收录:
学科分类:08[工学] 0807[工学-动力工程及工程热物理] 080501[工学-材料物理与化学] 0827[工学-核科学与技术] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0703[理学-化学] 1009[医学-特种医学] 0702[理学-物理学] 0801[工学-力学(可授工学、理学学位)]
摘 要:通过反射率的原位测量和曲线拟合,研究了薄膜的生长过程并实时确定了它的光学性质。研究的结果与扫描电子显微镜(SEM)照片、X射线衍射(XRD)和α-step表面轮廓等非原位测试的结果符合良好。应用该研究成果,成功地制备了一种通光直径为4—8mm的无依托超薄金刚石X光高透射率窗口。样品测试完毕后均完好无损,显示了其低吸收和抗高辐射的良好特性。