三维阶梯结构微混合器设计、制作及性能分析

作     者：张贺 刘晓为 唐佳禄 韩小为 田丽 ZHANG He;LIU Xiaowei;TANG Jialu;HAN Xiaowei;TIAN Li

作者机构：微系统与微结构制造教育部重点实验室(哈尔滨工业大学)哈尔滨150001 黑龙江工程学院电气与信息工程学院哈尔滨150001 

出 版 物：《哈尔滨工业大学学报》 (Journal of Harbin Institute of Technology)

年 卷 期：2016年第48卷第4期

页      面：54-59页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0835[工学-软件工程] 0802[工学-机械工程] 080201[工学-机械制造及其自动化] 

基　　金：国家自然科学基金(61404036) 

主　　题：微混合器 三维阶梯结构 混合效率 PMMA芯片制备 pH调节 

摘      要：为改善微纳尺度下流体的混合效果,在聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）基底材料上,设计制造了一款新型三维阶梯结构微混合器.混合器由一个T-型进样沟道和6个三维阶梯混合单元组成,采用超精密雕刻机在PMMA基片制作微米级结构,利用有机溶剂混溶浸泡法,在低温常压条件下键合得到.数值仿真结果表明：混合器效率受到台阶结构尺寸和流体速度的影响,当0.1≤Re≤5时,混合腔横截面的浓度方差σ〈0.1,接近充分混合;当流速在1～20 m L/h范围内时,将混合器用于微量溶液p H的调节取得了理想的结果.