溶胶-凝胶法制备掺铋(Ba_(0.65)Sr_(0.35))TiO_3薄膜的结晶特性研究
Crystalline Properties of Bi-Doped (Ba_(0.65)Sr_(0.35))TiO_3 Thin Films Prepared by Sol-Gel Method作者机构：四川大学材料科学与工程学院成都610064
出 版 物：《四川大学学报（自然科学版）》 (Journal of Sichuan University(Natural Science Edition))
年 卷 期：2005年第42卷第S1期
页 面：400-402页
核心收录：
学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学]
摘 要：采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)工艺制备了掺Bi(Ba0.65Sr0.35)Ti O3(简称BSTBi)薄膜.XRD研究结果表明,BST系列薄膜具有单一钙钛矿结构;AFM测试结果表明BST薄膜表面平整致密,无裂纹.表面均方根粗糙度约为3～6.5nm,晶粒大小分布均匀,直径约为50～75nm.随着热处理温度的提高,BST薄膜的晶粒变大,表面粗糙度变大.
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