几种应用于触摸感应电路的ESD保护结构设计

作     者：居水荣 陆建恩 张海磊 

作者机构：江苏信息职业技术学院电子信息工程系江苏无锡214153 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2014年第39卷第4期

页      面：254-258,278页

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 

主　　题：静电放电(ESD)保护结构 触摸感应检测按键电路 可控硅整流器 全芯片ESD 保护 二极管加电阻ESD保护 

摘      要：电容式触摸感应检测按键电路是一类对静电特别敏感的电路,因此静电放电(ESD)保护结构的选择问题对这一类电路显得特别重要。一方面要确保所选择的ESD保护结构有足够的抗静电能力,另一方面这种ESD保护结构又不能使芯片的面积和成本增加太多,基于此要求,介绍了3种应用在电容式触摸感应检测按键电路中的ESD保护结构。主要描述了这3种结构的电路形式和版图布局,着重阐述了为满足电容式触摸感应检测按键电路的具体要求而对这3种结构所作的改进。列出了这3种改进过后的ESD保护结构的特点、所占用芯片面积以及抗静电能力测试结果的比较。结果表明,经过改进后的3种ESD保护结构在保护能力、芯片面积利用率以及可靠性等方面都有了非常好的提升。