Tunability Analysis of Fabry-Perot Cavity in Micro Optical Electromechanical System
Tunability Analysis of Fabry-Perot Cavity in Micro Optical Electromechanical System作者机构：School of Information and Control Xi'an University of Architecture and Technology Xi'an Shaanxi 710055 China
出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)
年 卷 期：2012年第32卷第F12期
页 面：184-187页
核心收录：
学科分类：0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 080902[工学-电路与系统] 08[工学]
维普期刊数据库