利用白光干涉垂直扫描法测量波片延迟量

作     者：王军 陈磊 吴泉英 臧涛成 

作者机构：苏州科技学院数理学院江苏苏州215009 南京理工大学电光学院江苏南京210094 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2013年第50卷第1期

页      面：142-147页

核心收录：

学科分类：070207[理学-光学] 080901[工学-物理电子学] 07[理学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：浙江省眼视光学和视觉科学重点实验室--省部共建国家重点实验室培育基地开放课题 江苏省"六大人才高峰"项目 苏州科技学院科研基金资助课题 

主　　题：光学测量 波片 延迟量 迈克耳孙干涉仪 偏振干涉 白光干涉垂直扫描 

摘      要：将白光偏振干涉、迈克耳孙干涉仪和垂直扫描系统相结合,提出了一种利用白光干涉垂直扫描测量波片延迟量(包括级次信息)的方法。准直的白光经偏振干涉系统形成两束偏振方向相同的线偏光,它们进入迈克耳孙干涉仪后分别被两干涉臂的平面镜反射形成四束光,在压电传感器(PZT)驱动干涉仪动镜垂直扫描的过程中,它们两两干涉,形成3组白光干涉包络。根据CCD各像素记录的白光干涉信号,计算白光干涉包络之间的光程差,即可获取被测延迟量。实验测量了一多级波片的延迟量,其结果(4268.1nm)与使用光谱扫描法测量得到的结果(4269.9nm)相吻合。