Effects of Substrate Temperature on the Properties of Zn-ln-Sn-O Films Deposited on Flexible PES Substrate
Effects of Substrate Temperature on the Properties of Zn-ln-Sn-O Films Deposited on Flexible PES Substrate作者机构:National Center for Nanoprocess and Equipments Honam Technology Service Division Korea Institute of Industrial Technology Gwangju Korea Department of Physics Chonnam National University Gwang/u Korea
出 版 物:《材料科学与工程(中英文A版)》 (Journal of Materials Science and Engineering A)
年 卷 期:2011年第1卷第5X期
页 面:627-631页
学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 07[理学] 08[工学] 070204[理学-等离子体物理] 0702[理学-物理学]