微电子机械系统
Microelectromechanical system作者机构:信息产业部电子十三所河北石家庄050051
出 版 物:《半导体技术》 (Semiconductor Technology)
年 卷 期:2001年第26卷第8期
页 面:1-5页
摘 要:概述了微电子机械系统(MEMS)的特点、理论和技术基础。详细介绍了微型传感器、微型执行器、微型光机电系统(MOEMS)、微型生物化学芯片、微型机器人、微型飞行器、微型动力系统和纳米电子机械系统等主要MEMS器件和系统及这些器件在个人运载工具导航、系统监控与故障预防、环境感知、小型分析仪、生物医疗器械和航空航天等领域的应用。最后简述了MEMS技术的发展趋势与我国的发展现状。