静电无阀微泵两种仿真模型的比较研究
Comparing research on two different numerical models of electrostatically actuated valveless micropump作者机构:福州大学机械自动化学院福州350002 浙江大学机械与能源工程学院杭州310027
出 版 物:《哈尔滨工业大学学报》 (Journal of Harbin Institute of Technology)
年 卷 期:2010年第42卷第12期
页 面:1943-1947页
核心收录:
学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程(可授管理学、工学学位)] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 080201[工学-机械制造及其自动化]
基 金:国家自然科学基金资助项目(50475104) 浙江省自然科学基金资助项目(Z106519) 福建省教育厅资助项目(JB07007)
主 题:静电无阀微泵 静电-结构-流体耦合 MEMSCAD
摘 要:为提高无阀微泵性能,分别采用全耦合模型(FCM)和预先定义泵膜位移的模型(PDM)对基于扩散/收缩单元的静电无阀微泵的动态特性进行计算仿真.对泵膜变形形状、泵膜中点位移、泵腔内压力以及进出口处流量等的变化历程进行比较.结果表明:PDM模型计算费用较低,但无法以较高精度近似泵膜变形的动态特性,进而导致错误的瞬态流场结果.要准确仿真微泵的动态特性,必须考虑电-结构-流场之间的相互作用.