长波红外2048元线列碲镉汞焦平面器件

作     者：李言谨 杨建荣 何力 张勤耀 丁瑞军 方维政 陈新强 魏彦峰 巫艳 陈路 胡晓宁 王建新 倪云芝 唐红兰 王正官 LI Yan-Jin;YANG Jian-Rong;HE Li;ZHANG Qin-Yao;DING Rui-Jun;FANG Wei-Zheng;CHEN Xin-Qiang;WEI Yan-Feng;WU Yan;CHEN Lu;HU Xiao-Ning;WANG Jian-Xin;NI Yun-Zhi;TANG Hong-Lan;WANG Zheng-Guan

作者机构：中国科学院上海技术物理研究所上海200083 

出 版 物：《红外与毫米波学报》 (Journal of Infrared and Millimeter Waves)

年 卷 期：2009年第28卷第2期

页      面：90-92页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金创新群体(60821092)资助项目 

主　　题：长波 长线列 红外焦平面 碲镉汞 

摘      要：介绍了长波红外2048元线列碲镉汞焦平面器件的制备技术和达到的性能参数.探测器采用离子注入平面pn结制备光敏元,通过间接倒焊技术和读出电路互联,采用8个256元焦平面模块拼接2048元线列焦平面器件.光敏元的响应截止波长达到9.9μm,相应的R0A达到10Ωcm2,平均峰值探测率达到9.3×1010cmHz1/2W-1,响应不均匀性为8%,有效光敏元率大于99.5%.