CCD光电参数测试系统的研制

作     者：周跃 闫丰 章明朝 Zhou Yue;Yan Feng;Zhang Mingchao

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春130033 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2014年第43卷第10期

页      面：3451-3456页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0802[工学-机械工程] 0825[工学-航空宇航科学与技术] 0704[理学-天文学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家高技术研究发展计划(2012AA03A707) 

主　　题：CCD 动态范围 全自动测试 不确定度 

摘      要：研制了一套CCD光电参数测试系统，可实现对CCD的无效像元、相对光谱响应、响应度、等效噪声照度、动态范围、面响应度不均匀性等光电参数的全自动测试。CCD的相对光谱响应测试基于单光路直接比较法实现，而其他CCD光电参数的测试则基于特制的积分球光源。四个可独立开关的溴钨灯分别安置于四个次积分球内，经高精度电动光阑与主积分球级联，主积分球壁上的照度计经标定后可实时测试积分球光源出口照度值。该光源色温不变，可在大动态范围内以较高精度实现连续调节，满足CCD光电参数测试的需求。利用上述装置对E2V公司科学级CCD47-10B进行了实际测试，并分析了测量的不确定度。结果表明：相对光谱响应测试覆盖光谱范围400~1000 nm，不确定度为4.37%。光电转换参数测试装置距离光源出口23 mm处照度覆盖动态范围0~235 lx，Φ80 mm范围内照度均匀性达到99%,测试不确定度为4.9%。该系统可用于航天级CCD的光电参数测试及芯片甄选。