射频板条激光器反射镜变形自适应补偿的有限元仿真研究
Research on the Finite Element Simulation of the Adaptive Compensation to the Distortion of the Reflecting Mirror作者机构：厦门大学物理与机电工程学院机电工程系福建厦门361005
出 版 物：《应用激光》 (Applied Laser)
年 卷 期：2014年第34卷第4期
页 面：346-349页
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
基 金：福建省自然科学基金资助项目(项目编号:2011J01334)
主 题：射频板条激光器 反射镜 ANASYS 有限元仿真 热补偿
摘 要：针对射频板条CO2激光器所采用的非稳-波导混合腔反射镜热变形问题。利用有限元分析法仿真得出了反射镜的热变形和温度分布,并提出了一种背面多热丝同步加热自适应补偿方法。结果表明,加热补偿方法可将反射镜的曲率变形从0.16%降低到0.02%以内,并获得了不同激光功率下的补偿曲线。
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